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        Primo Unimax?

        為高端顯示應用所需的Mini LED大規模生產提供的MOCVD外延解決方案

        中微具有自主知識產權的Prismo UniMax? MOCVD設備可配置多達4個反應腔,可同時加工108片4英寸或40片6英寸高性能氮化鎵基藍綠光Mini LED外延晶片,通過石墨盤的調整,可擴展至同時加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片,其工藝能力還可延展到生長8英寸外延晶片。每個反應腔都可以獨立控制,這一創新設計具備卓越的生產靈活性。中微Prismo UniMax? MOCVD設備配置了新穎的局部溫度補償加熱系統,專為高性能Mini LED量產而設計,具備優異的產出波長均勻性及產出穩定性。此外,Prismo UniMax?MOCVD設備配置了785mm大直徑石墨托盤,極大地提高了設備產能,并有效地降低了Mini LED外延片的生產成本。

        產品特點

        • 自主的實時監控系統
        • 精準的參數控制
        • 自動化的控制與維護功能
        • 符合半導體標準的軟件控制系統

        競爭優勢

        • 可獨立控制的反應腔運行模式
        • 新穎的局部溫度調控加熱系統
        • 優異的LED波長均勻性
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