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        Prismo D-BLUE?

        首臺被主流LED生產線采用并進行大批量LED外延片生產的國產MOCVD設備

        中微具有自主知識產權的MOCVD設備可配置多達4個反應腔,可以同時加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片,工藝能力還能延展到生長6英寸和8英寸外延晶片。每個反應腔都可以獨立控制,這一設計可以實現卓越的生產靈活性。Prismo D-BLUE?是首臺被主流LED生產線采用并進行大批量LED和功率器件外延片生產的國產MOCVD設備。

        產品特點

        • 串行并行、可靈活切換的反應腔運行模式
        • 創新的實時監控系統
        • 精準的參數控制
        • 全自動化處理
        • 界面友好的操作系統

        競爭優勢

        • 優異的工藝重復性和均勻性
        • 符合SEMI S2安全標準
        • 高良率、高產能和低成本投入
        • 簡便易行的設備維護
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