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成為科創板首批上市公司之一
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中微在美國VLSIresearch舉辦的全球客戶滿意度調查中連續排名前列，綜合評分全球第三，是五個被評為五星級企業之一
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完成股份公司整體變更
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中微在美國VLSIresearch舉辦的全球客戶滿意度調查中榮登上榜，在全球晶圓制造設備供應商中排名第三，是唯一一家上榜的中國本土半導體設備公司
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中微第100臺MOCVD Prismo A7?反應腔付運里程碑
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中微刻蝕設備進入國際先進7納米生產線
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首臺雙反應臺ICP刻蝕設備產品研制成功
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首臺單反應臺ICP刻蝕設備產品研制成功，并運往國內客戶
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中微7納米介質刻蝕設備研制成功
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首臺第二代MOCVD設備產品研制成功，并運往國內客戶
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首臺VOC設備產品研制成功，并運往國內客戶
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中微14納米介質刻蝕設備研制成功
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中微、國家集成電路產業投資基金和蘇州聚源東方完成對拓荊投資
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中微反應臺交付量突破400臺
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由于中微等離子體刻蝕機的成功研發和量產，美國商務部取消了等離子體刻蝕機對中國的出口控制
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《國家集成電路產業發展推進綱要》發布后，中微成為第一家“大基金”投資的企業
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中微22納米介質刻蝕設備研制成功
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首臺MOCVD設備產品研制成功，并運往國內客戶
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二期新廠房22,000平方米落成啟用
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中微45納米介質刻蝕設備研制成功
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首臺TSV/MEMS/Dicing刻蝕設備產品研制成功，并運往客戶
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入選“02專項”首批項目承擔單位
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首臺CCP刻蝕設備產品研制成功，并運往國內客戶
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一期新廠房6,500平方米落成啟用
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在張江高科技園區啟動運營
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