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        1. 成為科創板首批上市公司之一

        2. 中微在美國VLSIresearch舉辦的全球客戶滿意度調查中連續排名前列,綜合評分全球第三,是五個被評為五星級企業之一

        3. 完成股份公司整體變更

        4. 中微在美國VLSIresearch舉辦的全球客戶滿意度調查中榮登上榜,在全球晶圓制造設備供應商中排名第三,是唯一一家上榜的中國本土半導體設備公司

        5. 中微第100臺MOCVD Prismo A7?反應腔付運里程碑

        6. 中微刻蝕設備進入國際先進7納米生產線

        7. 首臺雙反應臺ICP刻蝕設備產品研制成功

        8. 首臺單反應臺ICP刻蝕設備產品研制成功,并運往國內客戶

        9. 中微7納米介質刻蝕設備研制成功

        10. 首臺第二代MOCVD設備產品研制成功,并運往國內客戶

        11. 首臺VOC設備產品研制成功,并運往國內客戶

        12. 中微14納米介質刻蝕設備研制成功

        13. 中微、國家集成電路產業投資基金和蘇州聚源東方完成對拓荊投資

        14. 中微反應臺交付量突破400臺

        15. 由于中微等離子體刻蝕機的成功研發和量產,美國商務部取消了等離子體刻蝕機對中國的出口控制

        16. 《國家集成電路產業發展推進綱要》發布后,中微成為第一家“大基金”投資的企業

        17. 中微22納米介質刻蝕設備研制成功

        18. 首臺MOCVD設備產品研制成功,并運往國內客戶

        19. 二期新廠房22,000平方米落成啟用

        20. 中微45納米介質刻蝕設備研制成功

        21. 首臺TSV/MEMS/Dicing刻蝕設備產品研制成功,并運往客戶

        22. 入選“02專項”首批項目承擔單位

        23. 首臺CCP刻蝕設備產品研制成功,并運往國內客戶

        24. 一期新廠房6,500平方米落成啟用

        25. 在張江高科技園區啟動運營

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